Question

在微电子工业中 NF₃ 常用作氮化硅的蚀刻剂，工业上通过电解含 NH₄F 等的无水熔融物生产NF₃，其电解原理如图。下列说法不正确的是（ ）

A. a 电极为电解池的阳极

B. 阳极的电极反应式： NH₄⁺+3F^--6e^—===NF₃+4H⁺

C. H⁺由b极移向a极，并参与电极反应

D. 电解过程中可能还会生成少量氧化性极强的气体单质，该气体的分子式为 F₂

Answer

C

【解析】A、根据图中信息可知，氢离子在b极得电子产生氢气，故b极为阴极，a极为阳极，选项A正确；B、阳极铵根离子得电子产生NF3，其电极反应式为NH4++3F--6e—=NF3+4H+，选项B正确；C、电解池中阳离子定向移动到阴极，故H+由a极移向b极，并参与电极反应H++2e—=H2↑，选项C不正确；D、当氟离子浓度较大时，氟离子失电子产生氟气，选项D正确。答案选D。